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半导体芯片,到底是如何工作的?
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简介今天这篇,我们继续往下讲,说说芯片的诞生过程——从真空管、晶体管到集成电路,从BJT、MOSFET到CMOS,芯片究竟是如何发展起来的,又是如何工作的。真空管电子管)爱迪生效应 1883 ...
今天这篇 ,半导我们继续往下讲 ,体芯说说芯片的底何诞生过程——从真空管、晶体管到集成电路,工作从BJT 、半导MOSFET到CMOS,体芯芯片究竟是底何如何发展起来的,又是工作如何工作的。
真空管(电子管)
爱迪生效应1883年,半导著名发明家托马斯·爱迪生(Thomas Edison)在一次实验中,体芯观察到一种奇怪现象。底何
当时 ,源码下载工作他正在进行灯丝(碳丝)的半导寿命测试。在灯丝旁边,体芯他放置了一根铜丝 ,底何但铜丝并没有接在任何电极上 。也就是说 ,铜丝没有通电。
碳丝正常通电后 ,开始发光发热 。过了一会 ,爱迪生断开电源。他无意中发现 ,铜丝上竟然也产生了电流。

爱迪生没有办法解释出现这种现象的原因,亿华云但是 ,作为一个精明的“商人”,他想到的第一件事,就是给这个发现申请专利。他还将这种现象,命名为“爱迪生效应”。
现在我们知道 ,“爱迪生效应”的本质,是热电子发射。也就是云计算说,灯丝被加热后,表面的电子变得活跃,“逃”了出去 ,结果被金属铜丝捕获 ,从而产生了电流 。
爱迪生申请专利之后 ,并没有想到这个效应有什么用途 ,于是将其束之高阁。
1884年,英国物理学家约翰·安布罗斯·弗莱明(John Ambrose Fleming)访问美国 ,与爱迪生进行会面。爱迪生向弗莱明展示了爱迪生效应,给弗莱明留下了深刻的模板下载印象。
二极管等到弗莱明真正用到这个效应,已经是十几年后的事情了。
1901年 ,无线电报发明人伽利尔摩·马可尼(Guglielmo Marconi)启动了横跨大西洋的远程无线电通信实验 。弗莱明加入了这场实验 ,帮助研究如何增强无线信号的接收。
简单来说 ,就是研究如何在接收端检波信号 、放大信号,让信号能够被完美解读。免费模板
放大信号大家都懂,那什么是检波信号呢 ?
所谓信号检波 ,其实就是信号筛选。天线接收到的信号,是非常杂乱的,什么信号都有 。我们真正需要的信号(指定频率的信号),需要从这些杂乱信号中“过滤”出来 ,这就是建站模板检波 。
想要实现检波 ,单向导通性(单向导电)是关键 。
无线电磁波是高频振荡,每秒高达几十万次的频率。无线电磁波产生的感应电流,也随着“正 、负 、正 、负”不断变化,如果我们用这个电流去驱动耳机,一正一负就是零 ,耳机就没办法准确地识别出信号。
采用单向导电性 ,正弦波的负半周就没有了,全部是正的 ,电流方向一致。把高频过滤掉之后,耳机就能够轻松感应出电流的变化 。

去掉负半周,电流方向变成一致的,容易解读
为了检波信号 ,弗莱明想到了“爱迪生效应”——是不是可以基于爱迪生效应的电子流动,设计一个新型的检波器呢?
就这样,1904年 ,世界上第一支真空电子二极管 ,在弗莱明的手下诞生了。当时,这个二极管也叫做“弗莱明阀” 。(真空管 ,vacuum tube,也就是电子管 ,有时候也叫“胆管” 。)

弗莱明发明的二极管
弗莱明的二极管 ,结构其实非常简单 ,就是真空玻璃灯泡里 ,塞了两个极:一个阴极(Cathode) ,加热后可以发射电子(阴极射线);一个阳极(Anode),可以接收电子。

旁热式二极管
玻璃管里之所以要抽成真空,是为了防止发生气体电离,对正常的电子流动造成影响 ,破坏特性曲线 。(抽成真空 ,还可以有效降低灯丝的氧化损耗。)
三极管二极管的出现 ,解决了检波和整流需求 ,当时是一个重大突破。但是 ,它还有改进的空间。
1906年,美国科学家德·福雷斯特(De Forest Lee)在真空二极电子管里 ,巧妙地加了一个栅板(“栅极”),发明了真空三极电子管 。

德·福雷斯特发明的三极管
加了栅极之后 ,当栅极的电压为正,它就会吸引更多阴极发出的电子。大部分电子穿过栅极 ,到达阳极,将大大增加阳极上的电流。
如果栅极的电压为负,阴极上的电子就没有动力前往栅极 ,更不会到达阳极 。

栅极上很小的电流变化,能引起阳极很大的电流变化。而且 ,变化波形与栅极电流完全一致 。所以 ,三极管有信号放大的作用。

一开始的三极管是单栅 ,后来变成了两块板子夹在一起的双栅 ,再后来 ,干脆变成了整个包起来的围栅。

围栅
真空三极管的诞生 ,是电子工业领域的里程碑事件。
这个小小的元件 ,真正实现了用电控制电(以往都是用机械开关控制电,存在频率低、寿命短、易损坏的问题),用“小电流”控制“大电流” 。
它集检波、放大和振荡三种功能于一体 ,为电子技术的发展奠定了基础 。
基于它,我们才有了性能越来越强的广播电台 、收音机、留声机、电影 、电台 、雷达 、无线电对讲等。这些产品的广泛普及 ,改变了人们的日常生活,推动了社会进步。

真空管
1919年,德国的肖特基提出在栅极和正极间加一个帘栅极的想法。这个想法被英国的朗德在1926年实现。这就是后来的四极管。再后来,荷兰的霍尔斯特和泰莱根又发明了五极管 。
20世纪40年代 ,计算机技术研究进入高潮。人们发现 ,电子管的单向导通特性,可以用于设计一些逻辑电路(例如与门电路、或门电路) 。
于是 ,他们开始将电子管引入计算机领域 。那时候 ,包括埃尼阿克(ENIAC,使用了18000多只电子管)在内的几乎所有电子计算机 ,都是基于电子管制造的。

埃尼阿克
这里我们简单说说门电路。
我们学习计算机基础的时候 ,肯定学过基本的逻辑运算 ,例如与、或 、非、异或、同或、与非 、或非等。

计算机只认识0和1。它进行计算,就是基于这些逻辑运算规则。
例如2+1 ,就是二进制下的0010+0001,做“异或运算”,等于0011,也就是3。

实现上面这些逻辑门功能的电路,就是逻辑门电路。而单向导电的电子管(真空管) ,可以组建变成各种逻辑门电路。
例如下面的“或门电路”和“与门电路”。

A 、B为输入,F为输出
晶体管
电子管高速发展和应用的同时,人们也逐渐发现 ,这款产品存在一些弊端:
一方面,电子管容易破损 ,故障率高;另一方面 ,电子管需要加热使用,很多能量都浪费在发热上 ,也带来了极高的功耗 。
所以,人们开始思考——是否有更好的方式,可以实现电路的检波、整流和信号放大呢 ?
方法当然是有的。这个时候,一种伟大的材料就要登场了,它就是——半导体。
半导体的萌芽我们将时间继续往前拨 ,回到更早的18世纪。
1782年,意大利著名物理学家亚历山德罗·伏特(Alessandro Volta) ,经过实验总结,发现固体物质大致可以分为三种:
第一种,像金银铜铁等这样的金属,极易导电 ,称为导体;
第二种,像木材、玻璃 、陶瓷、云母等这样的材料 ,不易导电,称为绝缘体;
第三种 ,介于导体和绝缘体之间 ,会缓慢放电。
第三种材料的奇葩特性 ,伏特将其命名为“Semiconducting Nature” ,也就是“半导体特性”。这是人类历史上第一次出现“半导体(semiconductor)”这一称呼。
后来 ,陆续有多位科学家,有意或无意中 ,发现了一些半导体特性现象。例如 :
1833年,迈克尔·法拉第(Michael Faraday)发现,硫化银在温度升高时,电阻反而会降低(半导体的热敏特性)。
1839年,法国科学家亚历山大·贝克勒尔(Alexandre Edmond Becquerel)发现,光照可以使某些材料的两端产生电势差(半导体的光伏效应) 。
1873年,威勒毕·史密斯(Willoughby Smith)发现,在光线的照射下,硒材料的电导率会增加(半导体的光电导效应)。
这些现象,当时没有人能够解释,也没有引起太多关注。
1874年,德国科学家卡尔·布劳恩(Karl Ferdinand Braun)发现了天然矿石(金属硫化物)的电流单向导通特性。这是一个巨大的里程碑 。
1906年 ,美国工程师格林里夫·惠特勒·皮卡德(Greenleaf Whittier Pickard) ,基于黄铜矿石晶体,发明了著名的矿石检波器(crystal detector),也被称为“猫胡须检波器”(检波器上有一根探针 ,很像猫的胡须,因此得名)。

矿石检波器
矿石检波器是人类最早的半导体器件。它的出现,是半导体材料的一次“小试牛刀”。
尽管它存在一些缺陷(品控差 ,工作不稳定 ,因为矿石纯度不高) ,但有力推动了电子技术的发展 。当时,基于矿石检波器的无线电接收机,促进了广播和无线电报的普及 。
能带理论的问世人们使用着矿石检波器,却始终想不明白它的工作原理 。在此后的30余年里,科学家们反复思考——为什么会有半导体材料 ?为什么半导体材料可以实现单向导电 ?
早期的时候 ,很多人甚至怀疑半导体材料是否真的存在 。著名物理学家泡利(Pauli)曾经表示:“人们不应该研究半导体,那是一个肮脏的烂摊子,有谁知道是否有半导体的存在。”
后来 ,随着量子力学的诞生和发展,半导体的理论研究终于有了突破。
1928年 ,德国物理学家、量子力学创始人之一 ,马克斯·普朗克(Max Karl Ernst Ludwig Planck),在应用量子力学研究金属导电问题中 ,首次提出了固体能带理论 。
他认为 ,在外电场作用下,半导体导电分为“空穴”参与的导电(即P型导电)和电子参与的导电(即N型导电) 。半导体的许多奇异特性,都是由“空穴”和电子所共同决定的。
后来,能带理论被进一步完善成型 ,系统地解释了导体、绝缘体和半导体的本质区别 。
我们来简单了解一下能带理论。
大家在中学物理里学过 ,物体由分子 、原子组成 ,原子的外层是电子。
固体物体的原子之间,靠得比较紧,电子就会混到一起。量子力学认为,电子没法待在一个轨道上 ,会“撞车”。于是 ,轨道就硬生生分裂成了好几个细轨道。
在量子力学里,这种细轨道,叫能级 。而多个细轨道挤在一起变成的宽轨道,叫能带。
在两个能带中,处于下方的是价带,上方的是导带,中间的是禁带。价带和导带之间是禁带 。禁带的距离,是带隙(能带间隙)。

电子在宽轨道上移动 ,宏观上就表现为导电 。电子太多,挤满了,动不了 ,宏观上就表现为不导电 。
有些满轨道和空轨道距离很近 ,电子可以轻松地从满轨道跑到空轨道上 ,发生自由移动 ,这就是导体 。
两条轨道离得太远,空隙太大 ,电子跑不过去,就没有办法导电 。但是,如果从外界加一个能量,就能改变这种状态。

如果带隙在5电子伏特(5ev)之内 ,给电子加一个额外能量 ,电子能完成跨越并自由移动,即发生导电 。这种属于半导体。(硅的带隙大约是1.12eV,锗大约是0.67eV。)
如果带隙超过5电子伏特(5ev),正常情况下电子无法跨越 ,就属于绝缘体 。(如果外界加很大的能量,也可以强行帮助它跨越过去。例如空气 ,空气是绝缘体 ,但是高压电也可以击穿空气 ,形成电流。)
值得一提的是,我们现在经常听说的“宽禁带半导体”,就是包括碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)、金刚石、氮化铝(AlN)等在内的第三代半导体材料。
它们的优点是禁带宽度大(>2.2ev)、击穿电场高、热导率高、抗辐射能力强 、发光效率高、频率高 ,可用于高温 、高频 、抗辐射及大功率器件 ,是行业目前大力发展的方向。
前面我们提到了电子和空穴 。半导体中有两种载流子 :自由电子和空穴。自由电子大家比较熟悉,什么是空穴呢 ?
空穴又称电洞(Electron hole) 。
常温下,由于热运动,少量在价带顶部的能量大的电子 ,可能越过禁带 ,升迁到导带中,成为“自由电子”。
电子跑了之后,留下一个“洞”。其余未升迁的电子,就可以进入这个“洞”,由此产生电流。大家注意 ,空穴本身是不动的,但是由空穴“填洞”过程产生了一种正电在流动的效果,所以也被视为一种载流子 。

1931年 ,英国物理学家查尔斯·威尔逊(Charles Thomson Rees Wilson)在能带论的基础上,提出半导体的物理模型 。
1939年 ,苏联物理学家А.С.达维多夫(А.С.Давыдов) 、英国物理学家内维尔·莫特(Nevill Francis Mott)、德国物理学家华特‧肖特基(Walter Hermann Schottky) ,纷纷为半导体基础理论添砖加瓦。达维多夫首先认识到半导体中少数载流子的作用 ,而肖特基和莫特提出了著名的“扩散理论” 。
基于这些大佬们的贡献 ,半导体的基础理论大厦,逐渐奠基完成 。
晶体管的诞生矿石检波器诞生之后,科学家们发现 ,这款检波器的性能,和矿石纯度有极大的关系。矿石纯度越高,检波器的性能就越好。
因此,很多科学家们进行了矿石材料(例如硫化铅、硫化铜 、氧化铜等)的提纯研究 ,提纯工艺不断精进。
20世纪30年代 ,贝尔实验室的科学家罗素·奥尔(Russell Shoemaker Ohl)提出 ,使用提纯晶体材料制作的检波器 ,将会完全取代电子二极管 。(要知道,当时电子管处于绝对的市场统治地位 。)
经过对100多种材料的逐一测试,他认为 ,硅晶体是制作检波器的最理想材料 。为了验证自己的结论,他在同事杰克·斯卡夫(Jack Scaff)的帮助下 ,提炼出了高纯度的硅晶体熔合体。
因为贝尔实验室不具备硅晶体的切割能力 ,奥尔将这块熔合体送到珠宝店 ,切割成不同大小的晶体样品 。
没想到 ,其中一块样品 ,在光照后 ,一端表现为正极(positive) ,另一端表现为负极(negative),奥尔将其分别命名为P区和N区。就这样,奥尔发明了世界上第一个半导体PN结(P–N Junction)。
二战期间,AT&T旗下的西方电气公司 ,基于提纯的半导体晶体,制造了一批硅晶体二极管。这些二极管体积小巧 、故障率低,大大改善了盟军雷达系统的工作性能和可靠性。
奥尔的PN结发明 ,以及硅晶体二极管的优异表现,坚定了贝尔实验室发展晶体管技术的决心。
1945年 ,贝尔实验室的威廉·肖克利(William Shockley)在与罗素·奥尔交流后,基于能带理论 ,绘制了P型与N型半导体的能带图 ,并在此基础上 ,提出了“场效应设想”。

肖克利的场效应设想
他假设硅晶片的内部电荷可以自由移动 ,如果晶片足够薄 ,在施加电压的影响下 ,硅片内的电子或空穴会涌现表面,大幅提升硅晶片的导电能力,从而实现电流放大的效果 。
根据这个设想 ,1947年12月23日 ,贝尔实验室的约翰·巴丁和沃尔特·布拉顿做成了世界上第一只半导体三极管放大器。也就是下面这个看上去非常奇怪且简陋的东东:

世界上第一个晶体管(基于锗半导体)

晶体管的电路模型
根据实验记录,这个晶体管可以实现“电压增益100,功率增益40 ,电流损失1/2.5……”,表现非常出色 。
在命名时 ,巴丁和布拉顿认为,这个装置之所以能够放大信号 ,是因为它的电阻变换特性,即信号从“低电阻的输入”到“高电阻的输出”。于是,他们将其取名为trans-resistor(转换电阻) 。后来,缩写为transistor。
多年以后,我国著名科学家钱学森,将其中文译名定为:晶体管。
我归纳一下,半导体特性是一种特殊的导电能力(受外界因素)。具有半导体特性的材料 ,叫半导体材料。硅和锗 ,是典型的半导体材料 。
微观上 ,按照一定规律排列整齐的物质,叫做晶体。硅晶体就有单晶 、多晶、无定型结晶等形态。

晶体形态决定了能带结构,能带结构决定了电学特性。所以 ,硅(锗)晶体作为半导体材料 ,才有这么大的应用价值。
二极管 、三极管、四极管 ,是从功能上进行命名。电子管(真空管)、晶体管(硅晶体管 、锗晶体管),是从原理上进行命名。
巴丁和布拉顿发明的晶体管 ,实际上应该叫做点接触式晶体管 。从下图中也可以看出,这种设计过于简陋 。虽然它实现了放大功能 ,但结构脆弱,对外界震动敏感,也不易制造 ,不具备商业应用的能力 。

肖克利看准了这个缺陷,开始闭关研究新的晶体管设计。
1948年1月23日,经过一个多月的努力 ,肖克利提出了一种具有三层结构的新型晶体管模型,并将其名为结式晶体管(Junction Transistor) 。

肖克利的结式晶体管设计

帮助肖克利完成最终成品制作的 ,是摩根·斯帕克(Morgan Sparks)和高登·蒂尔(Gordon Kidd Teal) 。
需要特别说一下这个高登·蒂尔。
他发现采用单晶半导体替换多晶,可以带来显著的性能提升。而且,也是他发现直拉法可以用于提纯金属单晶。这种方法后来一直沿用,是半导体行业最主要的单晶制作方法。
晶体管的诞生 ,对于人类科技发展拥有极为重要的意义。
它拥有电子管的能力,却克服了电子管体积大、能耗高 、放大倍数小、寿命短、成本高等全部缺点 。从它诞生的那一刻 ,就决定了它将实现对电子管的全面取代。

正在生产晶体管的工人
在无线通信领域,晶体管和电子管一样,可以实现对电磁波的发射、检波以及信号放大。在数字电路领域 ,晶体管也可以更方便地实现逻辑电路。它为电子工业的腾飞打下了坚实的基础。

后来不断壮大的晶体管家族
集成电路
晶体管的出现 ,使得电路的小型化成为可能 。
1952年 ,英国皇家雷达研究所的著名科学家杰夫·达默(Geoffrey Dummer),在一次会议上指出 :
“随着晶体管的出现和对半导体的全面研究 ,现在似乎可以想象 ,未来电子设备是一种没有连接线的固体组件。”
1958年8月,德州仪器公司的新员工基尔比发现 ,由很多器件组成的极小的微型电路 ,是可以在一块晶片上制作出来的 。也就是说 ,可以在硅片上制作不同的电子器件(例如电阻、电容、二极管和三极管),再把它们用细线连接起来 。
不久后,9月12日 ,基尔比基于自己的设想 ,成功制造出了一块长7/16英寸 、宽1/16英寸的锗片电路 ,也是世界上第一块集成电路(Integrated Circuit)。

这个电路是一个带有RC反馈的单晶体管振荡器,整个是用胶水粘在玻璃载片上的,看上去非常简陋 。电路的器件 ,则是用零乱的细线相连。
基尔比发明集成电路的同时,另一个人也在这个领域取得了突破。这个人 ,就是仙童半导体(Fairchild Semiconductor)的罗伯特·诺伊斯(Robert Norton Noyce ,后来创办了英特尔Intel) 。
仙童是硅谷“八叛徒”联合创立的公司(详见:仙童传奇) ,在半导体技术上拥有极强的实力。
“八叛徒”之一的让·阿梅德·霍尔尼(Jean Hoerni),发明了非常重要的平面工艺(Planner Process) 。
这个工艺,就是在硅片上加上一层氧化硅作为绝缘层。然后,在这层绝缘氧化硅上打洞,用铝薄膜将已用硅扩散技术做好的器件连接起来 。
平面工艺的诞生,使得仙童能够制造出极小尺寸的高性能硅晶体三极管 ,也使集成电路中器件间的连接成了可能 。
1959年1月23日,诺伊斯在他的工作笔记上写到:
“将各种器件制作在同一硅晶片上,再用平面工艺将其连接起来 ,就能制造出多功能的电子线路。这一技术可以使电路的体积减小 、重量减轻 、并使成本下降。”
得知基尔比提交了集成电路专利后,诺伊斯十分懊悔,认为自己晚了一步 。然而,很快他又发现,基尔比的发明其实存在缺陷 。
基尔比的集成电路采用飞线连接 ,根本无法进行大规模生产 ,缺乏实用价值。
诺伊斯的设想是:
将电子设备的所有电路和一个个元器件都制成底版,然后刻在一个硅片上 。这个硅片一旦刻好了,就是全部的电路 ,可以直接用于组装产品 。此外 ,采用蒸发沉积金属的方式 ,可以代替热焊接导线,彻底消灭飞线 。

仙童的硅晶体集成电路
1959年7月30日 ,诺伊斯基于自己的想法 ,申请了一项专利 :“半导体器件——导线结构” 。
严格来说,诺伊斯的发明更接近于现代意义上的集成电路 。诺伊斯的设计基于硅基底平面工艺,而基尔比的设计基于锗基底扩散工艺 。诺伊斯依托仙童的硅工艺优势,做出的电路确实比基尔比更先进。
1966年 ,法庭最终裁定将集成电路想法(混合型集成电路)的发明权授予了基尔比,将今天使用的封装到一个芯片中的集成电路(真正意义上的集成电路),以及制造工艺的发明权授予了诺伊斯。
基尔比被誉为“第一块集成电路的发明家” ,而诺伊斯则是“提出了适合于工业生产的集成电路理论”的人 。
1960年3月,德州仪器依据杰克.基尔比的设计,正式推出了全球第一款商用化的集成电路产品——502型硅双稳态多谐振二进制触发器,销售价格为450美元。
集成电路诞生之后 ,最先应用的是军事领域(当时是冷战最敏感的时期)。
1961年,美国空军推出了第一台由集成电路驱动的计算机。1962年 ,美国人又将集成电路用于民兵弹道导弹(Minuteman)的制导系统 。
后来 ,著名的阿波罗登月计划 ,更是采购了上百万片的集成电路 ,让德州仪器和仙童公司赚得盆满钵满 。
军用市场的成功,带动了民用市场的拓展 。1964年,Zenith公司将集成电路用到了助听器上 ,算是集成电路在民用领域的首次落地。
那之后的故事 ,大家应该都比较熟悉了。在材料、工艺和制程的共同努力下,集成电路的晶体管数量不断增加 ,性能持续提升,成本逐步下降 ,我们进入了摩尔定律时代。

摩尔定律:集成电路上可容纳的晶体管数目,约每隔18个月便会增加一倍 ,性能也将提升一倍 。
基于集成电路发展起来的大规模、超大规模集成电路,为半导体存储、微处理器的出现铺平了道路。
1970年,英特尔推出世界上第一款DRAM(动态随机存储器)集成电路1103 。次年,他们又推出世界上第一款包括运算器 、控制器在内的可编程序运算芯片——Intel 4004 。
IT技术的黄金时代,正式开始了。
晶体管的演进
我们回过头来,再说一下晶体管。
晶体管问世至今,形态发生过多次重大改变 。概括来说 ,就是从双极型为主,到单极型为主 。单极型的话,从FET到MOSFET。从结构的角度来,又是从PlanarFET到FinFET,再到GAAFET 。
缩略语有点多,而且比较接近,所以容易看晕。大家耐心一点,一个个来看 。
双极型 、单极型肖克利在1948年发明的结型晶体管 ,因为使用空穴与电子两种载流子参与导电,被称为双极结型晶体管(Bipolar Junction Transistor ,BJT) 。
BJT晶体管有NPN和PNP两种结构形式 :

我们可以看出,BJT晶体管是在一块半导体基片上,制作两个相距很近的PN结 。两个PN结把整块半导体分成三部分,中间部分是基极(Base),两侧部分是发射极(Emitter)和集电极(Collector) 。
BJT晶体管的工作原理较为复杂 ,且现在很少用到 ,限于篇幅,我就不多介绍了 。从本质来说 ,这个晶体管的主要作用,就是通过基极微小的电流变化,让集电极产生较大的电流变化 ,有一个放大的作用。
前面小枣君提到过逻辑电路。由二极管与BJT晶体管组合而成的 ,被称为DTL (Diode-Transistor Logic)电路 。后来 ,出现了全部由晶体管搭建的TTL(Transistor-Transistor Logic)电路。
BJT晶体管的优点是工作频率高、驱动能力强 。但是 ,它也有缺点,例如功耗大、集成度低 。它的制造工艺也比较复杂,采用平面工艺存在一些弊端 。
于是 ,随着时间的推移,一种新的晶体管开始出现,也就是场效应晶体管(Field Effect Transistor,FET) 。
1953年,贝尔实验室的伊恩·罗斯(Ian Ross)和乔治·达西(George Dacey)合作 ,制作了世界上第一个结型场效应晶体管(Junction Field Effect Transistor ,JFET)原型。

JFET(结型场效应晶体管),此为N沟道
JFET是一种三极(三端)结构的半导体器件,包含源极(Source) 、漏极(Drain) 、栅极(Gate)。
JFET分为N沟道(N-Channel)JFET和P沟道(P-Channel)JFET 。前者是一块N形半导体两边制作两个P型半导体(如上图) 。后者是一块P形半导体两边制作两个N型半导体。
JFET的工作原理 ,简单来说,就是通过控制栅极G和源极S之间的电压(图中VGS) ,以及漏极D和源极S之间的电压(图中VDS),从而控制栅极和沟道之间的PN结,进而控制耗尽层。
耗尽层越宽 ,沟道就越窄 ,沟道电阻越大 ,能够通过的漏极电流(图中ID)就越小。沟道被耗尽层全部覆盖的状态 ,就叫做夹断状态。
JFET晶体管工作时,只需要一种载流子,因此被称为单极型晶体管 。
1959年,又有一种新的晶体管诞生了,那就是大名鼎鼎的MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor FET,金属氧化物半导体场效应晶体管) 。
它的发明人 ,是埃及裔科学家默罕默德·埃塔拉(Mohamed Atala,改名为Martin Atala)与韩裔科学家姜大元(Dawon Kahng ,也翻译为江大原)。
MOSFET同样由源极、漏极与栅极组成。“MOS”里的“M”,指栅极最初使用金属(metal)实现 。“O” ,是指栅极与衬底使用氧化物(Oxide)隔离。“S” ,则是指MOSFET整体由半导体(semiconductor)实现。
MOSFET晶体管,也称为IGFET(In-sulated Gate FET,绝缘栅场效应晶体管) 。

MOSFET(N型)
这种MOSFET晶体管 ,也分为“N型”与“P型” 两种 ,即NMOS与PMOS 。按操作类型的话 ,也分为增强型和耗尽型 。
以上图的N型MOS(更常用)为例 。用P型硅半导体材料作衬底 ,在其面上扩散了两个N型区 ,再在上面覆盖一层二氧化硅(SiO2)绝缘层 。最后,在N区上方,用腐蚀的方法做成两个孔。用金属化的方法分别在绝缘层上及两个孔内做成三个电极: G(栅极) 、S(源极) 、D(漏极) 。
P型硅衬底有一个端子(B),通过引线和源极S相连。
MOSFET的工作原理较为简单 :
正常情况下,N区和衬底P之间因为载流子的自然复合会形成一个中性的耗尽区。

给栅极提供正向电压后 ,P区的电子会在电场的作用下聚集到栅极氧化硅下 ,形成一个以电子为多子的区域 ,也就是一个沟道 。

现在 ,如果在漏极和源极之间施加电压,电流将在源极和漏极之间自由流动,实现导通状态。

栅极G类似于一个控制电压的闸门 ,若给栅极G施加电压,闸门打开,电流就能从源极S通向漏极D。撤掉栅极上的电压 ,闸门关上,电流就无法通过。
特别需要指出 ,1967年 ,姜大元又和华裔科学家施敏合作,共同发明了“浮栅”FGMOS(Floating Gate MOSFET)结构 ,奠定了半导体存储技术的基础。后来所有的闪存 、FLASH 、EEPROM等 ,都是基于这个技术。

刚才介绍了BJT 、JFET 、MOSFET,我先画个图,大家思路不要乱 :

1963年,仙童半导体的弗兰克.万拉斯(Frank Wanlass)和萨支唐(Chih-Tang Sah,华裔)首次提出了CMOS晶体管。
他们将PMOS与NMOS晶体管组合在一起,连接成互补结构,几乎没有静态电流 。这也是CMOS晶体管的“C(Complementary ,互补)”的由来 。

CMOS的最大特点,就是功耗远低于其它类型的晶体管。伴随着摩尔定律的不断发展,集成电路的晶体管数量不断增加 ,使得对功耗的要求也不断增加 。基于低功耗的特点 ,CMOS开始成为主流。
今天 ,95%以上的集成电路芯片,都是基于CMOS工艺制造。
换句话说,从1960年代开始 ,晶体管的核心架构原理就已经基本定型了 。以CMOS 、硅(硅的自然存量远超过锗,且耐热性能比锗更好,因此成为主流)、平面工艺为代表的集成电路生态,支撑了整个产业长达数十年的高速发展 。
PlanarFET 、FinFET、GAAFET核心架构原理虽然没变 ,但形态还是有变化的 。
集成电路不断升级 ,工艺和制程持续演进 。当晶体管数量达到一定规模后 ,工艺会倒逼晶体管发生“变形”,以此适应发展的需要 。
早期的时候 ,晶体管主要是平面型晶体管(PlanarFET)。
随着晶体管体积变小 ,栅极的长度越做越短,源极和漏极的距离逐渐靠近 。
当制程(也就是我们现在常说的7nm、3nm,一般指栅极的宽度)小于20nm时,麻烦出现了 :MOSFET的栅极难以关闭电流通道 ,躁动的电子无法被阻拦,漏电现象屡屡出现,功耗也随之变高。

为了解决这个问题,1999年 ,美籍华裔科学家胡正明教授,正式发明了鳍式场效应晶体管(FinFET)。
相比PlanarFET的平面设计,FinFET直接变成了3D设计 、立体结构 。
它的电流通道变成了像鱼鳍一样的薄竖片,三面都用栅极包夹起来 。这样一来 ,就有了比较强大的电场 ,提升了控制通道的效率,可以更好地控制电子能否通过 。
技术继续演进,等到了5nm时,FinFET也不行了。这时,又有了GAAFET(环绕式栅极技术晶体管) 。
GAAFET英文全称是Gate-All-Around FET 。相比FinFET ,GAAFET把栅极和漏极从鳍片又变成了一根根“小棍子”,垂直穿过栅极。
这样的话 ,从三接触面到四接触面,并且还被拆分成好几个四接触面 ,栅极对电流的控制力又进一步提高了。
韩国三星也设计出另一种GAA形式──MBCFET(多桥-通道场效应管) 。
MBCFET采用多层纳米片替代GAA中的纳米线 ,更大宽度的片状结构增加了接触面,在保留了所有原有优点的同时 ,还实现了复杂度最小化 。

目前,行业里的各大芯片企业 ,仍然在深入研究晶体管的形态升级 ,以期找到更好的创新 ,支撑未来的芯片技术发展。
结语
好了 ,终于写完了 ,累死了 。能看到这里的,都是真爱 。
总的来说,不管是电子管(真空管),还是晶体管 ,都是用电来控制电的小元件。晶体管基于半导体材料,所以能做得足够小。这是芯片(集成电路)能做到“极小身材 ,极大能力”的本因 。
半导体材料的特性 ,以及晶体管的作用 ,看上去都非常简单。正是亿万个这种简单的“小玩意” ,支撑了人类整个数字技术的发展 ,推动我们迈向数智时代。
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